企业等级: | 商盟会员 |
经营模式: | 经销批发 |
所在地区: | 广东 深圳 |
联系卖家: | 谭经理 先生 |
手机号码: | 13538176697 |
公司官网: | santek1.cn.china.cn |
公司地址: | 宝安13区宝民一路宝通大厦1009-1010室 |
价格: | ¥20.00/台 |
产品简介:
GP-T-2硅片测厚仪结构紧凑,自带集成
式工业电脑,采用高精度大量
程光谱共焦测头,该测头高精
度、高稳定性,且对于不同材
质、不同表面产品具有优异
的适用性,使得本品在测量硅
片厚度、TTV及弯曲度等参数
方便快捷,测量准确
型号:GP-T-2
精度1
±0.5μm
重复性2
±0.25μm
分辨率
0.1μm
测量项目3
厚度(Thickness)/平整度(TTV)/弯曲度(Bow)
测量范围
晶圆直径4
50mm - 300mm
晶圆厚度
100μm - 2000μm
电压输入(电压):
220VAC
电压输入(频率):
50 to 60Hz
使用温度范围:
15 to 40oC
尺寸(长x宽x高):
450*550*550mm
重量:
约50Kg
环境要求
温湿度稳定,环境洁净,无振动
1.在22±2oC恒定的温度下
2.在可重复定位的条件下
3.平整度(TTV)及弯曲度(Bow)不作为设备验收指标,厚度验证使用标准厚度样件
4.对应晶圆规格为2寸–12寸